扫描电镜主动减振系统WVIB-JZX-1000减振台青岛浩正

WVIB-JZX-1000主动减振系统

仪器名称：主动减振系统、

仪器型号：WVIB-JZX-1000

中国区：青岛浩正科仪智能技术有限公司

一、用途

解决振动尤其是低频振动对电镜图像造成干扰的问题。

二、工作环境条件

2.1 环境温度/湿度：5～40℃/20%～80% R.H

2.2 供电电源：交流电源220V±10%,50Hz

2.3 地线要求：需安全接地线

三、技术指标：

3.1 减振平台安装尺寸（长×宽×高）：1130×902×200（mm）（可以根据不同电镜定制），减振平台重量：190kg；

3.2 主动减振带宽：：0.5Hz至100Hz；

3.3 产生磁场强度：≤0.3mGpkpk；

3.4 静息时间：300ms；

3.5 平台负载重量：300kg至1500kg；

3.6 减振效果：从0.5Hz开始有减振效果；到2Hz，水平和垂直两个方向均达到-20dB的衰减（90%衰减）；

3.7 控制自由度：6；

※3.8控制方式：含前馈的双重主动控制；

3.9执行单元：直线电机；

3.10 推力常数：80N/Amp；

※3.11压缩空气：不需要；

3.12 安装/调试：由研发工程师现场针对性安装、调试；

3.13 适用机型：用于SEM、FIB、Dual Beam机台等。

四、配置清单

4.1 台式减振平台，1台

4.2 减振控制器，1个

4.3 传感器电缆线（带25芯D型插头），1根

4.4 电机电缆线（带37芯D型插头），1根

4.5 控制器电源线（3芯），1根

五、技术资料

中文产品说明书1套。

六、技术支持和服务要求

6.1提供送货服务，货物到达用户现场后，在收到用户通知后7天内派遣合格的技术人员前往用户现场进行安装调试，按验收指标逐项测试，直至达到验收要求。设备安装调试需在接到用户通知后15日内完成。

6.2在安装验收期间，在现场对用户进行免费培训，培训内容包括：工作原理，设备结构，仪器操作（包括控制器操作、面板操作、常见故障原因及排除），主要部件用途和日常维护等。承诺至少培训一位用户能完全操作、使用设备。

6.3保修期：保修期一年，自设备验收合格之日起计算。质保期内对所供设备实行包修、包换、包退、包维护。在质保期后，保证长期提供零备件和优质维修服务，保修期后设备维修配件更换只收取配件和人工成本费用。